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SURUGASEIKI駿河精機(jī)帶編碼器高精度滑臺(tái) 內(nèi)置編碼器全閉環(huán)控制，帶編碼器的高精度定位滑臺(tái)。 通過專用驅(qū)動(dòng)器對(duì)5相步進(jìn)馬達(dá)及光柵尺進(jìn)行反饋控制，實(shí)現(xiàn)高精度定位。 20um柵距的柵尺通過細(xì)分電路進(jìn)行細(xì)分，*高分辨率可達(dá)2.5nm; 【分辦率2.5nm、5nm、10nm、20nm、50nm、100nm 可選】 新增直動(dòng)滑臺(tái)9個(gè)機(jī)型，水平面Z軸滑臺(tái)3個(gè)機(jī)型。 查看詳情
