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SURUGASEIKI駿河精機帶編碼器高精度滑臺 內置編碼器全閉環(huán)控制，帶編碼器的高精度定位滑臺。 通過專用驅動器對5相步進馬達及光柵尺進行反饋控制，實現高精度定位。 20um柵距的柵尺通過細分電路進行細分，*高分辨率可達2.5nm; 【分辦率2.5nm、5nm、10nm、20nm、50nm、100nm 可選】 新增直動滑臺9個機型，水平面Z軸滑臺3個機型。 查看詳情
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SURUGASEIKI駿河精機帶編碼器高精度滑臺 內置編碼器全閉環(huán)控制，帶編碼器的高精度定位滑臺。 通過專用驅動器對5相步進馬達及光柵尺進行反饋控制，實現高精度定位。 20um柵距的柵尺通過細分電路進行細分，*高分辨率可達2.5nm; 【分辦率2.5nm、5nm、10nm、20nm、50nm、100nm 可選】 新增直動滑臺9個機型，水平面Z軸滑臺3個機型。 查看詳情
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