瞬間高效率流體加熱技術(shù)產(chǎn)品HX系列。
小型氣體加熱器的用途
- 可加熱各種流體
- 瞬間且穩(wěn)定的流體加熱
- 質(zhì)量流量控制器(MFC)輸出端的氣體加熱
各種流體加熱
該系列加熱器搭載SUS316L不銹鋼材質(zhì)的加熱模塊，加熱部分與流體不直接接觸，可以瞬間加熱沒有腐蝕性的流體。
瞬間且穩(wěn)定的流體加熱
在配管中流動的氣體具有很難被加熱和冷卻的特點。
通常，配管中的流體通過配管外部的帶狀加熱器加熱。但這種方式存在缺點，即難以使熱量傳遞到中心部位。HX系列熱交換器可以將熱量瞬間傳遞到流體中心，從而達(dá)到穩(wěn)定加熱的目的。
質(zhì)量流量控制器(MFC)輸出端的氣體加熱
在半導(dǎo)體制造工藝中，不僅需要對氣體進行加熱處理，氣體還需要在加熱前接受流量控制。為了在加熱器的輸入端設(shè)置質(zhì)量流量控制器以控制流量，加熱器(輸出端)則需采用低壓降結(jié)構(gòu)。LINTEC自主研發(fā)的HX系列加熱器具備低壓降結(jié)構(gòu)，適合與質(zhì)量流量控制器輸出端連接使用。
氣體加熱相關(guān)產(chǎn)品
小型氣體加熱器【HX-0020】
- *大流量：10SLM
- Max：200℃
高溫?zé)峤粨Q器【HX-0051H】
- *大流量：20SLM
- Max:300℃
小型熱交換器【HX-0050A】
- *大流量：50SLM
- Max：200℃
高溫?zé)峤粨Q器【HX-0100C】
- *大流量：100SLM
- Max：300℃
高溫氣體加熱器【HX-0301L】
- *大流量：250SLM
- Max：300℃
大流量熱交換器【HX-0300C】
- *大流量：300SLM
- Max：250℃
加熱過濾器【VF-0201N】
- Max:200℃
- 過濾精度：0.1μm
