該系列是采用高效雙流體噴嘴結(jié)構(gòu)的*新型號汽化器。
與VU-450系列相比，該系列汽化器通過增加汽化室的體積（到Gas Outlet 的距離加長），改善了對流時間和熱交換面積，可避免未氣化完成的霧化液體進入反應(yīng)腔，由此可實現(xiàn)更大流量的汽化。
*適合Low-K(低介電常數(shù)材料)、High-k(高介電常數(shù)材料)和各種低蒸氣壓的金屬材料的大流量汽化供應(yīng)。
該汽化器為閥門集成汽化器，若與LM-3000L結(jié)合使用，可直接控制即將進入汽化器的液體流量，從而提高氣體流量控制的應(yīng)答速度。
特點
- 高效率汽化
- 維護成本低
- 汽化室附近搭載液體流量控制閥
- 噴嘴到氣體出口距離加長
使用范例
半導(dǎo)體材料的汽化供給CVD、ALD
通過對汽化室進行增擴，從中央雙流體噴嘴噴出的霧氣比VU-450擴散得更多，可以穩(wěn)定地實現(xiàn)液體為TEOS時30g/min、H2O時5g/min的大流量汽化。
規(guī)格表
| *高溫度 | 載氣流量 | H2O汽化量 | TEOS汽化量 | 密封材 |
| 200℃ | 0.8~130SLM | 5g/min | 30g/min | Au、全氟橡膠 |
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