搭載液體噴嘴和載氣噴嘴的雙流體噴嘴結(jié)構(gòu)高效率汽化器。
液體噴嘴和載氣噴嘴（0.05~4SLM）的雙流體噴嘴在汽化室前匯合，以精細(xì)地噴灑液體。被微小霧化的液體可以通過(guò)輻射熱被高效汽化。
汽化室頂部的液體控制閥通過(guò)接收液體質(zhì)量流量計(jì)(LM-3000L)的流量信號(hào)來(lái)調(diào)節(jié)閥門(mén)開(kāi)度。通過(guò)控制流量，可以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的汽化供給。
特點(diǎn)
- 高效率汽化
- 維護(hù)成本低
- 汽化室附近搭載液體流量控制閥
使用范例
低蒸氣壓材料的汽化
該汽化器搭載*高溫度為200℃的耐熱結(jié)構(gòu)和雙流體噴嘴，即使是Low-K(低介電常數(shù)材料)、High-k(高介電常數(shù)材料)和各種低蒸氣壓的金屬材料，也能實(shí)現(xiàn)高效且穩(wěn)定的液體汽化供應(yīng)。通過(guò)將加熱模塊的溫度調(diào)節(jié)分為側(cè)面和底部，可以實(shí)現(xiàn)**的溫度控制。即使是容易發(fā)生熱變性的材料，也可以實(shí)現(xiàn)精細(xì)的溫度控制。
規(guī)格表
| *高溫度 | 載氣流量 | *大H2O汽化流量 | *大TEOS汽化流量 | 密封件 |
| 200℃ | 0.05~4SLM | 1.0g/min | 10g/min | Au |
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