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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:Lintec 琳得科 經(jīng)濟型質(zhì)量流量控制器

  • 產(chǎn)品型號:MC-10RC
  • 產(chǎn)品廠商:LINTEC林泰克
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
Lintec 琳得科 經(jīng)濟型質(zhì)量流量控制器 MC-10RC,北崎有售,歡迎咨詢。
詳情介紹:

經(jīng)濟型質(zhì)量流量控制器MC-10RC


采用橡膠密封的質(zhì)量流量控制器,具有制作周期短、成本低的特點。



適用于Ar、N2等惰性氣體及Air的流量控制。由于型號固定,所以制作周期較短。

選配VR(可變流量)功能可改變流量范圍。支持RS-485數(shù)字通信接口。


特點

  • 經(jīng)濟適用

選配規(guī)格

  • 可變流量(VR)功能
  • RS-485通訊接口

使用范例

PVD

在PVD濺射鍍膜設(shè)備中,通常使用Ar(氬),這是一種穩(wěn)定的、耐化學(xué)反應(yīng)的惰性氣體。 如果您需要使用MFC控制Ar之類的惰性氣體的流量,我們建議使用經(jīng)濟型質(zhì)量流量控制器(MC-10RC)。

惰性氣體分析、實驗設(shè)備

如果流量控制的目標氣體不會腐蝕密封材中的樹脂部分,我們建議使用經(jīng)濟型質(zhì)量流量控制器MC-10RC。此外,可選的VR功能可支持不同氣體類型與流量范圍。該產(chǎn)品是簡單實驗、分析設(shè)備的理想選擇。

規(guī)格表

溫度 *小壓差 *大壓差 精度 控制范圍 *小F.S. *大F.S. 密封材
15~35℃ 50kPa 300kPa ±1%F.S. 2~100%F.S. 10SCCM 150SLM 橡膠
Lintec 琳得科 經(jīng)濟型質(zhì)量流量控制器 MC-10RC



Lintec 琳得科 經(jīng)濟型質(zhì)量流量控制器 MC-10RC




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