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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:COSMOS新宇宙毒氣及半導(dǎo)體氣體檢測(cè)儀

  • 產(chǎn)品型號(hào):XP-703DII
  • 產(chǎn)品廠商:cosmos新考思莫施
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
COSMOS新宇宙毒氣及半導(dǎo)體氣體檢測(cè)儀XP-703DII,北崎熱賣
詳情介紹:


COSMOS新宇宙毒氣及半導(dǎo)體氣體檢測(cè)儀XP-703DII

COSMOS新宇宙毒氣及半導(dǎo)體氣體檢測(cè)儀XP-703DII


XP-703DⅢ
半導(dǎo)體材料氣體檢測(cè)

檢測(cè)對(duì)象

H2丨AsH3丨B2H6丨SiH4丨PH3

檢測(cè)濃度

1.0μmol/mol丨0.5μmol/mol丨0.2μmol/mol丨0.5μmol/mol丨0.3μmol/mol

檢測(cè)原理

專線型半導(dǎo)體式

采樣方式

自動(dòng)吸引式

應(yīng)用行業(yè)

半導(dǎo)體制造

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產(chǎn)品詳情
PRODUCT DETAILS

產(chǎn)品描述:半導(dǎo)體材料氣體檢測(cè)


 

可檢測(cè)微量的半導(dǎo)體材料氣體泄漏,可對(duì)半導(dǎo)體工廠等使用毒性氣體的場(chǎng)所進(jìn)行泄漏檢測(cè),

也可對(duì)氫氣相關(guān)設(shè)備提供**保障。
 

 

01.產(chǎn)品特點(diǎn)

·  小型·輕量

·  可以檢查非常微量的氣體泄漏
 

·  適合氫氣相關(guān)設(shè)備的**防護(hù)

·  搭載的泵有自動(dòng)停止功能

·  搭載[自動(dòng)氣體排氣模式]功能

·  保護(hù)等級(jí)約為IP22(JIS C  0920)※安裝皮套時(shí)

 

02.產(chǎn)品用途

·  半導(dǎo)體工廠/石油化學(xué)工廠等

·  在使用半導(dǎo)體材料氣體/毒性氣體的現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行泄漏檢測(cè)

 

03.產(chǎn)品參數(shù)

型號(hào) XP-703DⅢ
檢測(cè)對(duì)象氣體 半導(dǎo)體材料氣體(砷烷、磷化氫、乙硼烷、硅烷、氫氣)
檢測(cè)原理 專線型半導(dǎo)體式
采樣方式 自動(dòng)吸引式
  砷烷 磷化氫 乙硼烷 硅烷 氫氣
AsH? PH? B?H? SiH? H?
可檢測(cè)泄漏量
[Pa·m3/s]
2.53x10?? 1.52x10?? 1.01x10?? 2.53x10?? 5.07x10??
可檢測(cè)濃度
[μmol/mol]
0.5 0.3 0.2 0.5 0.1
反應(yīng)時(shí)間 10秒以內(nèi)(探測(cè)的氣體為可檢測(cè)濃度的3倍時(shí),靈敏度設(shè)定為[4])
報(bào)警方式 發(fā)出斷斷續(xù)續(xù)的聲音及報(bào)警燈閃爍
電源 5號(hào)堿性干電池(LR6)2節(jié)
連續(xù)使用時(shí)間※1 約12小時(shí)(5號(hào)堿性干電池)[在常溫·常濕條件下]
保護(hù)等級(jí)※2 IP22 相當(dāng)※3
使用壓力范圍 大氣壓(800~1100hpa)
使用溫濕度范圍 0C~40℃、85%RH以下(無(wú)結(jié)露現(xiàn)象)
外形尺寸 W38xH130xD32mm(突出部分除外)
重量 約190g(包含電池、皮套)
標(biāo)配附件 皮套、引導(dǎo)管過(guò)濾片、替換用過(guò)濾芯、導(dǎo)氣管、點(diǎn)檢氣體、手提掛繩、5號(hào)堿性干電池2節(jié)等

※1. 根據(jù)不同環(huán)境條件、使用條件、保存期限、電池廠家,有時(shí)會(huì)有不同。

※2. 安裝皮套時(shí)。

※3. IP22相當(dāng)是指機(jī)器內(nèi)部危險(xiǎn)場(chǎng)所附近所對(duì)應(yīng)的保護(hù)構(gòu)造(IP2X)、與垂直方向呈15°范圍內(nèi)掉落的水滴不會(huì)引起機(jī)器內(nèi)部異常的防浸水構(gòu)造(IPX2)。


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