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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:MITSUIEC 三井電氣納米壓印

  • 產(chǎn)品型號(hào):TMR-02
  • 產(chǎn)品廠商:MITSUIEC 三井電氣
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
該系統(tǒng)是一種用于測(cè)試的輥壓印裝置,其中通過(guò)EB光刻系統(tǒng)形成的輥壓模具的小直徑輥(Φ30)雕刻的納米圖案通過(guò)熱固化方法轉(zhuǎn)移到大直徑輥上
詳情介紹:

型號(hào) TMR-02

型號(hào) TMR-02

該系統(tǒng)是一種用于測(cè)試的輥壓印裝置,其中通過(guò)EB光刻系統(tǒng)形成的輥壓模具的小直徑輥(Φ30)雕刻的納米圖案通過(guò)熱固化方法轉(zhuǎn)移到大直徑輥上,通過(guò)UV固化方法將小直徑輥的圖案轉(zhuǎn)移到大直徑輥上,并將這種大直徑輥模的納米圖案轉(zhuǎn)移到薄膜上。

【本設(shè)備規(guī)格】

壓印方式 熱固化法及UV固化法
軋輥基板 Φ300×150
壓制對(duì)象 0.08~0.2噸
*大軋輥加壓載荷 500N
單位面積載荷 3.92N/毫米2
涂布方式 尺寸壓制法/逗號(hào)輥模法
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