產(chǎn)品特性和功能

多點多點測量

非接觸式非接觸式

電腦和軟件

電阻測量儀，種類繁多，有多種類型的非接觸式探頭
（探頭數(shù)量和探頭類型可根據(jù)要求更改）

• 從 8 mm 的邊緣進行多點測量
• 非接觸式渦流方法可實現(xiàn)無損傷測量
• 測量模式可編程和 2-D/3-D 映射軟件

*可選：晶圓厚度測量探頭

測量規(guī)格

測量目標

• 半導(dǎo)體和太陽能電池材料（硅、多晶硅、碳化硅等）
• 新型功能材料（碳納米管、DLC、石墨烯、銀納米線等）
• 導(dǎo)電薄膜（金屬、ITO等）
• 化合物半導(dǎo)體（GaAs Epi、GaN Epi、InP、Ga等）
• 其他（*請聯(lián)系我們）

目標大小

2~8寸
（可選;12寸）

測量范圍

[電阻率] 1m~200Ω?cm
（*所有探頭類型的總量程/500um厚度）
[片狀電阻] 10m~3kΩ/sq
（*所有探頭類型的總量程）

*每種探頭類型的測量范圍請參考以下內(nèi)容。
（1）低：0.01~0.5Ω/□（0.001~0.05Ω·cm）
（2）中：0.5~10Ω/□（0.05~0.5Ω·cm）
（3）高：10~1,000Ω/□（0.5~60Ω·cm）
（4）S-高：1,000~3,000Ω/ □（60~200Ω·cm）

產(chǎn)品尺寸

W780×D580×H375mm
約70kg