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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：Magnescale激光尺

  • 產(chǎn)品型號：BS78
  • 產(chǎn)品廠商：Magnescale
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
信號波長為138nm的高分辨率柵尺，超過了光波干涉儀 不受濕度，氣壓或亂氣流影響的高穩(wěn)定性 原點精度：±0.1μm 精度：±0.04μm 或更小 (測量范圍為40mm) 完全非接觸式，原理上不會產(chǎn)生返回誤差 測量范圍：40 ～ 420mm，9種(-R/-RS) 測量范圍：10 ～ 420mm，10種(-N/-NS) 支持真空和非磁性 (特殊規(guī)格) 使用低膨脹玻璃:－0.7×10-6/℃ (測量范圍:10 ～ 420 mm) 分辨率：2.1pm
詳情介紹：

Laserscale

BS78

  • 產(chǎn)品首頁
  • 規(guī)格
  • 外徑尺寸圖
  • 使用說明書
  • 產(chǎn)品目錄

BS78的特點

在保持高速響應和高分辨率的同時，實現(xiàn)穩(wěn)定的超精密測量。適用于精密工作臺，半導體測試/制造設備及超精密加工機等

  • 信號波長為138nm的高分辨率柵尺，超過了光波干涉儀
  • 不受濕度，氣壓或亂氣流影響的高穩(wěn)定性
  • 原點精度：±0.1μm
  • 精度：±0.04μm 或更小 (測量范圍為40mm)
  • 完全非接觸式，原理上不會產(chǎn)生返回誤差
  • 測量范圍：40 ～ 420mm，9種(-R/-RS)
  • 測量范圍：10 ～ 420mm，10種(-N/-NS)
  • 支持真空和非磁性 (特殊規(guī)格)
  • 使用低膨脹玻璃:－0.7×10-6/℃ (測量范圍:10 ～ 420 mm)
  • 分辨率：2.1pm

規(guī)格

主要規(guī)格

激光尺使用半導體激光。激光對人體有害，所以請勿直視檢測讀頭

記載內容如有變更，恕不另行通知

型號 BS78
測量范圍:L(mm) 10 / 40 / 70 / 120 / 170 / 220 / 270 / 320 / 370 / 420 (10**N/NS)
柵尺全長 58mm (測量范圍 10mm：懸臂式)　測量范圍 +26mm (測量范圍 40 ～ 420 mm)
*大可動長度 測量范圍 +2mm (測量范圍 10mm：懸臂式)　測量范圍 +10mm (測量范圍 40 ～ 420 mm)
精度 (20℃時)
  • NS型/RS型：
  • ±0.03μm (測量范圍 10mm) (**NS型)
  • ±0.04μm (測量范圍 40mm)
  • ±0.10μm (測量范圍 70 / 120mm)
  • ±0.18μm (測量范圍 170 / 220mm)
  • ±0.25μm (測量范圍 270mm)
  • ±0.34μm (測量范圍 320mm)
  • ±0.39μm (測量范圍 370mm)
  • ±0.44μm (測量范圍 420mm)
  • N型，R型：
  • ±0.06μm (測量范圍 10mm) (**N型)
  • ±0.08μm (測量范圍 40mm)
  • ±0.20μm (測量范圍 70 / 120mm)
  • ±0.35μm (測量范圍 170 / 220mm)
  • ±0.50μm (測量范圍 270 ～ 370 mm)
  • ±0.65μm (測量范圍 420mm)
光柵間距 約0.55μm
信號波長 約0.138μm (約138nm)
原點精度 ±0.1μm (**R/RS型)
原點位置 中央及從中央向左右分別每次前進50mm處
(在測量范圍為320，370，420mm時，原點位置為以50mm為間隔從中央20mm處置位)
原點檢測方向 單方向
溫度膨脹系數(shù) －0.7×10-6/℃
光源 半導體激光 波長 790nm 輸出 6mW
輻射功率 DHHS級1
檢測方式 衍射光柵掃描
工作溫度范圍 10 ～ 30℃ (不得有結露)
保存溫度范圍 －10 ～ 50℃ (濕度為60％ 或更低)
*大響應速度 400mm/s

外徑尺寸圖

產(chǎn)品名稱 2D 3D
日語 英語
BS78 N 下載 下載 –
BS78 NS 下載 下載 –
BS78 R 下載 下載 –
BS78 RS 下載 下載 –

使用說明書

產(chǎn)品名稱 日語 英語 德語
BS78 下載 下載 下載

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產(chǎn)品目錄

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