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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：日本FUJI-US富士工業(yè)單組分濃度計(jì)

  • 產(chǎn)品型號(hào)：FUD-1 型號(hào)-130
  • 產(chǎn)品廠商：FUJI-US富士工業(yè)
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡(jiǎn)單介紹：
該型號(hào)定位為FUD-1 Model 13的**型號(hào)，可滿足高精度和高穩(wěn)定性測(cè)量等客戶需求
詳情介紹：
日本FUJI-US富士工業(yè)單組分濃度計(jì)FUD-1 型號(hào)-130





單組分濃度計(jì)的特點(diǎn)

Model-130是強(qiáng)調(diào)測(cè)量濃度穩(wěn)定性的概念模型，在半導(dǎo)體制造工藝等需要高精度、高穩(wěn)定性濃度計(jì)的情況下非常有效。

優(yōu)點(diǎn)

  • 實(shí)現(xiàn)高精度的連續(xù)測(cè)量
  • 無(wú)需定期調(diào)整或校準(zhǔn)，免維護(hù)
  • 安裝簡(jiǎn)單，安裝時(shí)無(wú)需進(jìn)行各種調(diào)整
  • 實(shí)時(shí)輸出，便于反饋到過程

用

  • CMP工藝中的CMP漿料或氧化劑濃度控制等
  • 控制稀釋過程中的各種化學(xué)濃度（H2O2、四甲基氫氧化銨、HNO3、H2SO4、HCl 等）
  • 控制清洗過程中的清洗液濃度（HF、NH4OH、KOH、IPA 等）
  • 控制蝕刻過程中的蝕刻液濃度（HF、H2SO4 等）



規(guī)范

格式 FUD-1 型號(hào)-130
測(cè)量參數(shù) 超聲波傳播速度和溫度
指示 LCD（濃度、溫度、聲速/各種參數(shù)）
輸出信號(hào) 模擬DC4~20mA（濃度值可任意設(shè)定） 數(shù)字RS232C（濃度、溫度、聲速、錯(cuò)誤代碼）

報(bào)警上限和下限 測(cè)量異常
權(quán)力 AC100V~240V 50/60Hz 30VA （也可使用DC24V）
結(jié)構(gòu) 面板安裝（符合 DIN 標(biāo)準(zhǔn)）
功能 輸出范圍設(shè)置功能、報(bào)警輸出設(shè)置功能、濃度顯示移動(dòng)平均功能、濃度顯示偏移和增益設(shè)置功能、自診斷功能、故障**功能、異常值消除功能
選擇 溫度輸出（DC4~20mA）
渠道 高達(dá) 10Ch
電纜 6米
接液部件材料 全氟橡膠涂料
關(guān)節(jié) 有多種公稱直徑1/2~1英寸可供選擇。
測(cè)量環(huán)境 轉(zhuǎn)爐
 10~40°C
相對(duì)濕度85%以下
發(fā)射機(jī) 5~45°C
測(cè)量的流體溫度 0~50°C
壓力 0.3兆帕
流量 5升/分鐘以下


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