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產品詳情
  • 產品名稱:日本FUJI-US富士工業(yè)多組分濃度計

  • 產品型號: FUD-1 型號-53
  • 產品廠商:FUJI-US富士工業(yè)
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簡單介紹:
在保持FUD-1 Model-53的可維護性和高精度在線測量等優(yōu)點的同時,該型號還具有用于半導體制造工藝的小型電池發(fā)射器。
詳情介紹:


日本FUJI-US富士工業(yè)多組分濃度計 FUD-1 型號-53




多組分濃度計的特點

可實現3個組分的實時雙組分濃度計側

  • 標配模擬DC4~20mA(2個系統(tǒng))和數字RS232C
  • 測量誤差輸出和報警輸出為標準設備
  • 標配自診斷功能和錯誤信息顯示
  • 緊湊輕便的電池變送器可直接安裝在生產線上
  • PFA接液部件材料,小輸出設計對化學液體沒有影響。

優(yōu)點

  • 實現高精度的連續(xù)測量
  • 無需定期調整或校準,免維護
  • 安裝簡單,安裝時無需進行各種調整
  • 實時輸出,便于反饋到過程

  • 控制CMP工藝中的CMP漿料和氧化劑濃度等
  • 控制清洗過程中的清洗液濃度等(HF+HNO3、HF+H2SiF6等)
  • 蝕刻過程中的蝕刻液濃度控制等(TMAH + 抗蝕劑、TMAH + Si等)



規(guī)范

FUD-1 型號-53
轉爐
測量參數 超聲波傳播速度、溫度、電導率
指示 LCD(濃度1,濃度2,溫度,聲速,電導率/各種參數)
輸出信號 模擬DC4~20mA:2個系統(tǒng)(可自由設置濃度值) 數字RS232C(濃度1,濃度2,聲速,溫度,電導率,錯誤代碼)

報警上限和下限 測量異常:2個系統(tǒng)
權力 AC100V~240V 50/60Hz 30VA (也可使用DC24V)
結構 面板安裝(符合 DIN 標準)
環(huán)境溫度變送器 0~50°C
相對濕度 85% 或更低(無冷凝)
功能 輸出范圍設置功能、報警輸出設置功能、濃度顯示移動平均功能、濃度顯示偏移和增益設置功能、自診斷功能、故障**功能、異常值消除功能、溫度時間常數校正
選擇 溫度輸出(DC4~20mA)RS485輸出(不能與RS232C同時輸出)
通道(校準曲線) *多 7 路
兼容變送器示例 SA-20S29+ 電導率儀, SA-20S27+ 電導率儀


發(fā)射機
SA-20S29+ 電導率儀
SA-20S27+ 電導率儀
振動元件 PZT(2MHz)x1 PZT(2MHz)x2
測量元件 熱敏電阻 熱敏電阻
測量的流體溫度 0~100°C 0~80°C
結構
接液部件材料 全氟辛烷磺酸/全氟辛烷磺酸涂層 聚苯乙烯
擬 合 3/4 接頭(可更換) 3/4 接頭(可更換)
壓力 0.3兆帕 0.3兆帕
 流量 5升/分鐘(推薦) 5升/分鐘(推薦)
 重量 2.5公斤 2.5公斤
電纜 專用電纜 6m 專用電纜 6m
環(huán)境溫度 5~45°C  5~45℃





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