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產品詳情

  • 產品名稱：SHINKUU真空設備自動涂裝功能凱焊機

  • 產品型號：MSP-12S
  • 產品廠商：SHINKUU真空設備
  • 產品文檔：
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簡單介紹：
配備大面積樣品臺，支持12英寸晶圓。 磁控管系統用于減少涂層電壓為500V或更低時的離子損傷。 自動涂裝功能從脫氣到常壓氣體引入和涂裝都是全自動的。 它配備了一個向前滑動的樣品臺，便于裝卸樣品。 通過附著Ag靶材，可以很容易地對透明薄膜進行光澤處理。
詳情介紹：

根據涂層面積的差異，可提供 12 英寸型和 12S 型！

MSP-12in

目標尺寸的直徑為 12 英寸（直徑 300 毫米），可均勻地覆蓋整個 12 英寸晶圓。 它可用于涂布大面積和涂布大量樣品。

MSP-12S
目標電極的直徑為 50 mm。 當您想要涂覆大面積樣品的一部分（例如 12 英寸晶圓）時，可移動目標非常有用。 通過減小電極的尺寸，可以降低運行成本。 也不需要裂解大型晶圓。

主要產品規(guī)格

項目 規(guī)范
權力 帶地線的單相 AC100V15A 3 芯插頭
設備大小 寬 450 mm，深 440 mm，高 427 mm
（設備重量 30 kg）
旋轉泵 G-101D 寬 234 毫米，深 500 毫米，高 264 毫米，重量
25Kg
涂裝室尺寸 內徑330mm，高80mm
目標電極尺寸 直徑 300mm
樣品臺 直徑 300mm
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